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一、手用纏繞膜動(dòng)態(tài)膨脹法：
研究人員利用動(dòng)態(tài)膨脹法測量了鋁、金以及鎢纏繞膜的楊氏模量。長方形纏繞膜被固定在壓力腔中，利用質(zhì)量流量控制器和排氣閥控制施加在上面的壓力，使載荷均勻地施加在纏繞膜表面，膨脹高度通過激光掃描確認(rèn)，載荷通過氣體壓強(qiáng)以及膨脹偏轉(zhuǎn)進(jìn)行計(jì)算，得出載荷一撓度曲線，通過纏繞膜中心撓度隨載荷變化的關(guān)系即可確認(rèn)纏繞膜的楊氏模量。

通過分析鎢、金和鋁纏繞膜的楊氏模量結(jié)果可以得到，纏繞膜厚度的測量誤差會(huì)對金纏繞膜的結(jié)果產(chǎn)生約8%的誤差，對另外兩種纏繞膜則產(chǎn)生不高于5%的誤差。而楊氏模量本身測量的誤差在1%左右，故這種方法的準(zhǔn)確度較高。

二、手用纏繞膜視覺圖像跟蹤系統(tǒng)與微拉伸復(fù)合法拉伸法：

作為一種常用的測量楊氏模量的方法被廣泛應(yīng)用于尺寸較大的材料，但是由于手用纏繞膜尺寸較小，拉伸法較難測定纏繞膜材料的楊氏模量。研究人員利用視覺圖像跟蹤系統(tǒng)配合微拉伸實(shí)驗(yàn)法，測量出金纏繞膜的楊氏模量。

視覺圖像跟蹤系統(tǒng)是利用一臺10/s采樣率的數(shù)字CCD照相機(jī)通過顯微鏡進(jìn)行成像和觀測的，通過這樣個(gè)系統(tǒng)可以準(zhǔn)確認(rèn)位微米等別的拉伸量，這樣就解決了拉伸法中較難探測較小位移量的難題。通過這種復(fù)合測量法繪出金纏繞膜相應(yīng)的壓力一拉伸曲線，計(jì)算出其楊氏模量約為60GPa，具有一定的準(zhǔn)確性。

通過系統(tǒng)地綜述了纏繞膜楊氏模量的測量方法，包括共振法、壓痕法、動(dòng)態(tài)膨脹法、視覺圖像跟蹤系統(tǒng)與微拉伸復(fù)合法，其中市場內(nèi)較為常用的是壓痕法和共振法。米壓痕法雖然因受基質(zhì)效應(yīng)和纏繞膜厚度等因素的影響，測量結(jié)果會(huì)有偏差，但是它的測量結(jié)構(gòu)簡單，理論發(fā)展成熟，并已經(jīng)取得了很大成效。

當(dāng)纏繞膜材料厚度減小到細(xì)微類時(shí)，由于測試機(jī)理的影響，壓痕法將較難達(dá)到技術(shù)發(fā)展的需求。共振法雖然受到器件制備工藝等因素的影響，但與其他相關(guān)技術(shù)相結(jié)合共振法的準(zhǔn)確度將大大增加。

另外共振法是動(dòng)態(tài)測量技術(shù)，越能直接有益地達(dá)到MEMS器件的需求，因而將來有望成為MEMS器件微結(jié)構(gòu)中測量手用纏繞膜材料楊氏模量的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)。